激光散斑測量使用的一種方法是散斑干涉法，能夠測量的位移分為面內位移和離面位移，其中面內位移即在平面內發生的位移，離面位移即垂直于平面的位移。

　　一、散斑的形成

　　使用被擴束后的平行光照射物塊表面，在空間出現隨機分布的亮斑和暗斑，稱為散斑。散斑隨銅塊的變形或運動而變化。在距離物體為Z的位置散斑的縱向和橫向尺寸分別為a和b，其中尺寸大小與激光波長、照明面積D和距離Z有關。在距離物體為Z處散斑縱向和橫向尺寸。其中，D為照明區直徑，λ為激光的波長。

　　二、測量面內位移

　　在物體形變前用ccd(類似于手機攝像頭的感光芯片，一種影像采集設備)或全息干板(類似膠卷相機的底片)對散斑圖像進行一次記錄，當物體受載后產生位移，在原位置進行第二次記錄，將兩次圖像相加，如果兩個散斑場面內的相對位移量大于散斑的橫向尺寸，則在相加后圖像將形成“雙孔”結構。它們和兩次記錄時物體表面上的兩組暗點散斑相對應，這兩組散斑上攜帶了物體的位移信息

　　用平行光照射“雙孔”結構的圖像，孔洞透光，其余部分不透光，小孔與小孔會形成類似楊氏干涉的條紋，條紋的間距能夠反映出兩幅圖像上小孔的間距，小孔的間距即圖像的位移。

　　三、測量離面位移

　　離面位移測量類似于邁克爾干涉儀，兩束準直光束對稱的照射參考平面和被測物表面，在成像平面上形成干涉條紋，設物塊發生離面位移，物體表面漫反射光和參考光分別為I和II，物體表面一點A產生u向位移達到B點時，則I方向從A點到B點減少了usinθ，II光程減少了usinθ，兩束光產生2usinθ，故物體上凡是u向位移滿足

　　n=0,±1，±2，±3……的點，在物體變形后探測器2上散斑場對應物面B點位置的亮度，經過一個循環變化又恢復到原來亮度，在這些區域上產生相關條紋.

　　電子散斑干涉儀，用來解決漫反射表面的形變測量問題。PhaseCam ESPI動態電子散斑干涉儀，可以解決在現場環境下的表面沿軸向的一維形變測量問題，精度達到nm級，而不用考慮環境振動帶來的影響。應用于大口徑拼接鏡的背部支撐材料的微變形測量。經典應用案例：美國JWST太空望遠鏡的主鏡的背部碳纖維支撐結構的微變形測量。

　　電子散斑干涉儀是表面的漫反射光進入干涉儀發生干涉，干涉圖樣為含有干涉信息的電子散斑噪聲。對兩次漫反射干涉的散斑進行波面相減操作，便可提取出樣品面形變化引起的相位信息。對該相位信息解析，就可以獲得形變量。由于采用了動態相移技術，即使在非隔振的環境下測量，也可以實現nm級測量精度。